电子芯片、半导体行业

该行业废水种类较多,含大量溶剂、氢氟酸、氨氮、重金属离子等污染物因子,针对水质情况,我们提供:

  • 超纯水回收、再利用:如芯片清洗及切割过程中的废水,含少量颗粒物、酸碱离子及微量有机物等可深度处理后再回用做纯水,主要处理工艺有超级微电解、电催化氧化、树脂吸附工艺及膜处理单元等;
  • 含氨氮废水处理:针对氨氮浓度高于几百毫克升废水,采用气态膜工艺,可以有效回收氨溶液,一步处理到排放要求。
  • 含氟废水:芯片制造及清洗过程中产生的高含氟废水,采用混凝、过滤及树脂深度处理的办法达到含氟废水直排标准。
  • 含氰废水处理:根据废水中氰根的不同状态,采用破络加复合高级氧化工艺,分步处理废水,达到彻底氧化氰根至氨氮和二氧化碳,实现废水脱毒的要求。
  • 有机废水的处理:废水采用一体化MBR结合特种工程生物菌,针对电子行业含溶剂、难降解废水,进行有效生物处理,出水可稳定达到排放要求。